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1 下列有關微機電系統之敘述何者不正確?
A 所涵蓋的尺度從數厘米至奈米
B 微機電系統最主要的特徵就是微小化
C 微機電系統的三個主要元件是微致動器,微感測器與積體電路
D 半導體製程所製造的是動態的晶粒,而微機電所生產的是靜態的微小結構
半導體製程所製造的是靜態的晶粒,而微機電所生產的是能作動的微小化機器或機構