Positive SSL
1 下列敘述何者與薄膜沉積無關?
A 利用化學氣相沉積法
B 在晶圓上形成製造電路的基礎
C 所需厚度很小約1mm
D 在晶圓上面沉積一層二氧化矽、氮化矽、多晶矽或導電金屬
薄膜沉積的厚度不到1μm